浮平台的工作原理是什么？

　　气浮平台有两种:气浮直线平台和气浮(旋转)转台。浮动平台的核心原理是由空气轴承和电控元件组成的精密位移平台。基于空气轴承原理，承载板浮动在气浮导轨或气浮轴承上，实现无摩擦、无振动的平稳运动。

　　气浮平台气浮直线导轨的常见形式有:

　　1.重力平衡气浮导轨；

　　2.封闭式气浮导轨；

　　3.永磁预紧气浮导轨；

　　4.真空吸附气浮导轨。

　　常见的气浮孔结构有:

　　1.孔板节流结构；

　　2.多孔结构。

　　气浮平台的高直线度和平整度取决于气浮导轨，气浮导轨由铝合金、大理石、碳化硅陶瓷等制成。对其高压气膜压力分布、气源压力、节流阀、均压槽深度进行了研究，找到了气膜刚度合理的参数区间，具有良好的性能精度。300mm行程的直线度和平整度误差在1μm以内，气浮平台的承载能力也非常优秀，逐渐得到了市场上大家的认可。